Overall fab efficiency
- Bonal, Javier
- Ortega, Carlos
- Rios, Luis
- Aparicio, Santiago
- Fernandez, Manuel
- Rosendo, Maria
- Sanchez, Alejandro
- Malvar, Sergio
Actes:
IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
Any de publicació: 1996
Pàgines: 49-52
Tipus: Aportació congrés