Overall fab efficiency
- Bonal, Javier
- Ortega, Carlos
- Rios, Luis
- Aparicio, Santiago
- Fernandez, Manuel
- Rosendo, Maria
- Sanchez, Alejandro
- Malvar, Sergio
Actas:
IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference and Workshop
Año de publicación: 1996
Páginas: 49-52
Tipo: Aportación congreso