Ion beam induced chemical vapor deposition for the preparation of thin film oxides

  1. Leinen, D.
  2. Fernández, A.
  3. Espinós, J.P.
  4. Belderrain, T.R.
  5. González-Elipe, A.R.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 1994

Volum: 241

Número: 1-2

Pàgines: 198-201

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0040-6090(94)90425-1 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus