Ion beam induced chemical vapor deposition for the preparation of thin film oxides
- Leinen, D.
- Fernández, A.
- Espinós, J.P.
- Belderrain, T.R.
- González-Elipe, A.R.
ISSN: 0040-6090
Datum der Publikation: 1994
Ausgabe: 241
Nummer: 1-2
Seiten: 198-201
Art: Artikel