Ion beam induced chemical vapor deposition for the preparation of thin film oxides

  1. Leinen, D.
  2. Fernández, A.
  3. Espinós, J.P.
  4. Belderrain, T.R.
  5. González-Elipe, A.R.
Aldizkaria:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Argitalpen urtea: 1994

Alea: 241

Zenbakia: 1-2

Orrialdeak: 198-201

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0040-6090(94)90425-1 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus