Ion beam induced chemical vapor deposition for the preparation of thin film oxides
- Leinen, D.
- Fernández, A.
- Espinós, J.P.
- Belderrain, T.R.
- González-Elipe, A.R.
ISSN: 0040-6090
Año de publicación: 1994
Volumen: 241
Número: 1-2
Páginas: 198-201
Tipo: Artículo